真空釬焊爐真空系統(tǒng)的技術(shù)特點和原理
瀏覽：1497 發(fā)布日期：2021-04-02 10:27:39
真空釬焊爐有采用分區(qū)式加熱器布置,使加熱區(qū)內(nèi)溫度均勻性一致的特點以及在真空氛圍中釬焊的,可保持工件的清潔和光亮。真空系統(tǒng)主要由半導(dǎo)體冷板、真空室、泵系統(tǒng)和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統(tǒng)由機械泵、維持泵、羅茨泵、擴散泵構(gòu)成。閥門包括前級閥、旁路閥、維持泵閥和高閥組成，各閥門均為氣動閥，由PLC控制氣動閥進行控制。
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